Oxidació tèrmica
![](http://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/2/23/Centrotherm_diffusion_furnace_at_LAAS_0493.jpg/220px-Centrotherm_diffusion_furnace_at_LAAS_0493.jpg)
En la microfabricació, l'oxidació tèrmica és una manera de produir una fina capa d'òxid (generalment diòxid de silici) a la superfície d'una oblia. La tècnica obliga un agent oxidant a difondre's a l'oblia a alta temperatura i reaccionar amb ella. El model de Deal-Grove prediu sovint la taxa de creixement de l'òxid.[1] L'oxidació tèrmica es pot aplicar a diferents materials, però més comunament implica l'oxidació de substrats de silici per produir diòxid de silici.[2]